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真空機組的選型
1、真空機組的構成與分類
真空機組一般由下列元件構成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。
按機組的工作壓力分，有粗真空機組(>1330Pa)；低真空機組(1330~0.13Pa)；高真空機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；較高真空機組(<1.2×10-11Pa)。
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